Запущены в эксплуатацию 5 дифрактометров высокого разрешения
В 2024-2025 гг. АО «ИЦ «Буревестник» поставил и запустил в эксплуатацию пять дифрактометров высокого разрешения, разработанных на основе дифрактометра ДРОН-8Т с высокоточным θ - θ гониометром вертикальной конструкции.
Все аппаратно-программные комплексы предназначены для исследований эпитаксиальных наногетероструктур, которые создаются в российских научно-производственных организациях в рамках программы по импортозамещению электронных компонентов.
Центральными устройствами разработанных дифрактометров являются:
- многофункциональная χφxyz приставка (МФП), имеющая два способа крепления (вакуумный и механический) различных типов образцов диаметром до 100 мм;
- моторизованная рентгенооптическая система (РОС), которая предназначена для программного управления коллимацией первичного пучка и обеспечивает перестраивание конфигурации для реализации различных методов исследования в параллельно-лучевой геометрии и в геометрии высокого разрешения.
Моторизованная РОС на первичном пучке состоит из:
- механизма перемещения кожуха РТ;
- параболического зеркала;
- автоматического аттенюатора;
- моторизованного монохроматора;
- моторизированной щели.
На дифрагированном пучке дифрактометра могут устанавливаться моторизованные монохроматоры с прорезными кристаллами двух- и трехкратного отражения, которые обеспечивают программно-управляемый поворот кристалла и детектора для включения данного элемента в общую рентгенооптическую систему и для исключения из нее.
В качестве систем регистрации могут применяться как точечные, так и линейные позиционно-чувствительные детекторы. При одновременной установке двух детекторов на рычаге гониометра обеспечивается их программное переключение в зависимости от выбранного метода исследования.
.png)
Дифрактометр высокого разрешения позволяет проводить исследования различных по структуре тонких пленок в геометриях высокого разрешения, рефлектометрии и скользящего пучка, используя карты обратного пространства и сканы в режимах 2θ-w, 2θ, θ и w, а также анализировать ориентацию и качество монокристаллических пластин по w-φ и χ-φ полюсным фигурам и кривым качания. Кроме этого, при исключении монохроматоров из рентгенооптической схемы дифрактометра, можно измерять поликристаллические объекты (порошки, монолитные образцы, покрытия) для анализа их фазового состава и структурных особенностей, в том числе текстурированного и напряженного состояния, в различных точках их поверхности.
Используя полученный опыт, в 2026 году на предприятии начата разработка дифрактометра высокого разрешения ДРОН-9 с высокоточным 2θ - θ гониометром горизонтальной конструкции. В состав аппарат войдут ранее созданные моторизованные рентгенооптические элементы, хорошо зарекомендовавшие себя при эксплуатации в составе аппарата ДРОН-8Т. Специально для дифрактометра ДРОН-9 будет создана новая χφxyz приставка, которая позволит исследовать образцы диаметром до 200 мм, а также устанавливать купольные высоко- и низкотемпературные камеры для изучения твердотельных фазовых переходов в тонких пленках.
